5月21日，由協(xié)會會員單位四川九天真空科技股份有限公司承擔研發(fā)任務的“02專項”產品——“變通導擺動隔離閥”樣機成功通過專家組現(xiàn)場測試，測試結果符合項目任務書的技術要求，下一步將進入上機考核階段。
專家組在九天真空潔凈實驗室進行樣機的現(xiàn)場測試
02專項，即：《極大規(guī)模集成電路制造技術及成套工藝》項目，因次序排在國家重大專項所列16個重大專項第二位，在行業(yè)內被稱為“02專項”。
半導體設備行業(yè)屬于典型的技術密集型行業(yè)，產品技術含量極高，同時對配套產業(yè)要求極高，其中就包括真空設備配套產業(yè)。真空設備（真空閥、真空泵、真空腔體及管道等）是半導體各工藝制程環(huán)節(jié)必備的通用設備，廣泛應用于晶圓制造過程中的LL、Etching、CVD、ALD、封裝、測試等清潔或嚴苛制程中。
刻蝕是半導體制造流程中最關鍵的工藝環(huán)節(jié)之一，刻蝕是用化學或者物理方法將晶圓表面不需要的材料逐漸去除的過程，決定了晶圓上的芯片電路能否與光掩模版上的芯片電路保持一致，是圖形化工藝中的重點。因此，刻蝕設備也被稱為半導體的“雕刻刀”。
九天真空承擔的02專項“變通導擺動隔離閥”是刻蝕設備中防腐真空系統(tǒng)中的核心零部件，其特征是通過高精度的真空規(guī)與步進電機驅動的閥板相結合，能快速而精確的控制閥門開口，調節(jié)閥門的流導，快速響應并達到刻蝕的工藝氣氛要求，保證刻蝕工藝的穩(wěn)定性、重復性。
此次樣機成功通過現(xiàn)場測試，意味著國內真空設備配套產業(yè)在該領域的最新研發(fā)成果突破。